流化床化學氣相沉積（FB CVD）的良好發展前景

流化床化學氣相沉積（FB CVD）

技術優勢明顯：

傳熱傳質效率高：流化床反應器的傳熱和傳質系數比傳統的固定床反應器和移動床反應器高 1 個數量級以上，反應更充分。

溫度控制均勻：反應區溫度均勻，對于強熱效反應的熱擴散和熱補充有明顯優勢，在控溫反應的溫度精度一致性上也有不可替代的優勢。

單位產能大：能效和接觸充分，單位床層的生產能力遠遠大于傳統的固定床反應器和移動床反應器。

易于物料處理：反應區質點均處于流動態，易于物料的加注和卸出，可提升能耗利用效率和生產效率。

自動化程度高：設備采用自動化控制，更加接近于商業化設備，性能穩定性明顯提高。

能源領域應用潛力大：在能源存儲與轉換方面，FB CVD 可用于制備三維石墨烯網絡等材料。如通過該工藝制備的三維石墨烯網絡作為鋰硫電池的電極，表現出良好的倍率性能和循環穩定性，為大規模應用三維石墨烯材料開辟了新途徑，隨著新能源產業的發展，其需求有望增加。

納米材料制備優勢突出：FB CVD 能夠實現碳基精細粉末的均勻包覆，可用于制備各種復合材料，在電催化和鈉離子電池陽極等領域有潛在應用。例如，通過該方法可合成錫硫族化合物與硬碳粉末的復合材料，這類材料在電子學領域，如光電子學、熱電學等方面具有較高的應用潛力。

半導體制造需求增長：在半導體制造的先進封裝環節，FB CVD（可流動 CVD）因能填充納米級間隙，成為關鍵工藝。隨著半導體行業的發展，特別是先進制程技術向 3nm 及以下節點突破，以及存儲芯片市場需求的復蘇，對 FB CVD 設備的需求也將持續增長。

環保領域應用前景廣闊：相關研究表明，利用類似 FB CVD 的單階段浮動催化劑 CVD 法制備的垂直排列碳納米管具有超疏水性能和對重金屬離子的吸附能力，在油水分離和水凈化等環保領域具有應用潛力，有助于解決環境污染問題，符合未來環保產業的發展需求。

設備工藝已經成熟：儒佳科技在新材料領域進行探索，十年磨一劍的不斷創新，逐漸形成以物理研磨和化學沉積方法的工藝設備的專業性新材料設備廠家。